Изделия из кварцевого стекла для полупроводниковой промышленности
Микроэлектроника — отрасль электроники, занимающаяся разработкой и производством миниатюрных электронных компонентов с размерами элементов порядка микрометров и менее. Ключевая задача — создание высокоинтегрированных, энергоэффективных и надёжных устройств с повышенной функциональной плотностью.
Кварцевое стекло в микроэлектронике используется для:
изготовления подложек и держателей для полупроводниковых пластин;
создания прозрачных окон в вакуумных камерах и установках для эпитаксии;
производства защитных колпаков для чувствительных элементов;
оптических элементов в лазерных системах фотолитографии.
Ценностные характеристики кварцевого стекла для микроэлектроники:
высочайшая химическая чистота (минимальное содержание примесей);
исключительная оптическая прозрачность в УФ, видимом и ИКдиапазонах;
низкий коэффициент теплового расширения (стабильность геометрии при температурных изменениях);
высокая термостойкость (рабочая температура до 1200 °C);
диэлектрические свойства (удельное сопротивление >1016 Ом⋅см);
радиационная стойкость (устойчивость к ионизирующему излучению);
инертность к агрессивным химическим средам (кислоты, щелочи, плазменные газы).