Плазменное напыление

Происходит с использованием плазмотрона. Он бывает прямого и косвенного действия.

• В плазмотроне прямого действия обработка ведется за счет самой плазмы. Температура — 5000–6000 °С.
• Плазмотрон косвенного действия действует за счет потока газов (плазменная струя), которые выбиваются плазмой. Струя испаряет поверхностный слой, таким образом выбивая с него загрязнения. Температура обработки — 2000–3000 °С. Можно проводить равномерную обработку изделия снаружи, внутри и одновременно обеих поверхностей.

Для обработки кварцевого стекла используют плазмотрон косвенного действия. Обработку проводят для удаления поверхностного загрязненного слоя. В результате получают более чистое стекло. Обработанная поверхность снижает загрязнения деталей (пластин) в изделиях, приводит к снижению кристаллизационной способности стекла, повышению его вязкости и, как следствие, температуры эксплуатации (ради чего это все и задумывалось).

Нанесение оксида алюминия Al₂O₃ с помощью плазмы. В струю подают порошок определенного гранулометрического состава, чтобы было сцепление с поверхностью кварцевого стекла и не было отслаивания. Поскольку обработка ведется с использованием плазмы, одновременно с нанесением происходит и очищение поверхности. В результате на поверхности стекла формируется равномерный каркас из оксида алюминия. В процессе нанесения покрытия контролируют расход, гранулометрический состав и толщину слоя оксида алюминия. Поскольку оксид алюминия тугоплавкий, он повышает жаропрочность, что ведет к более высокой температуре эксплуатации.

Формоустойчивые реакторыРФКА(Б) — реактор формоустойчивый кварцевый, А и Б — виды сырья. Представляет собой трубу, на которой по спирали идет ребро жесткости. Предусмотрена определенная технология вытяжки с помощью формующих элементов. Спираль высотой 5–7 мм — ребро жесткости. Повышается устойчивость к поперечной деформации, труба не прогибается, не сплющивается, может использоваться при более высоких температурах.

Эти реакторы могут легироваться оксидом алюминия. Окись повышает вязкость, а значит, они могут использоваться длительно при высоких температурах (1150–1320 °С).
Производство лодочек под автоматическую загрузкуЗагрузка лодочек может проводиться вручную, но тогда кварцевые пластины в них могут стоять неровно, на них могут оставаться следы. Также для этого процесса нужна чистая зона, которая тоже со временем загрязняется. Чтобы всего этого избежать, используют автоматическую загрузку пластин в лодочку (кассету). Пластины помещают в контейнер, лодочка предварительно сваривается, потом на ней нарезают пазы на станке с ЧПУ (числовое программное управление). При этом определяется база — какая-то часть изделия, относительно которой впоследствии располагаются контейнер и пластины. Из контейнера откачивают воздух, после чего пластины автоматически перемещаются из контейнера в лодочку. В итоге они получаются чистыми и позиционируются одинаково (без смещений).

Реакторы для высокотемпературных процессов из синтетического сырья

Синтетическое сырье обеспечивает высокую чистоту готового изделия за счет практически полного отсутствия в нем примесей (их содержание исчисляется сотыми доли ppm). Как следствие, стекло обладает высокой вязкостью и химической чистотой, что, в свою очередь, обусловливает высокие рабочие температуры и спектральные свойства.